京州，南湖实验室。 赵崇明挂断电话，转身对林振邦道：“光刻机，已经运抵上海。中芯国际今天完成验收。” 林振邦一愣，声音微颤：“卖给他们了？那我们自己……怎么办？” “吕州这边的代工厂还没搞起来呢！”赵崇明耸耸肩：“人员都还是在培训当中，短时间内，证明不了什么，我们还是得让中芯国际冲在前头！” 虽然有建设卡。 但是，人才的培养不是说搞出来就搞出来的。 起码还需要三五个月，那都是明年的事情了。 还是需要杀我诶的展示一下自己的肌肉的。 “我们手里头还有一台，现在我们需要做的就是赶紧开始生产第三台，第四台！” 赵崇明笑了笑，继续道：“同时，下一阶段已在研发28n至22n我们都要搞，现在我们的储备足够，真正的护城河不是某一代设备，而是持续创新的能力，现在我们已经是进入到了一个正面循环当中了！” 说到这里，赵崇明顿了顿道：“您老，要不要好好的休息休息？” 林振邦这个级别，基本上都是老古董，国之瑰宝的这个级别，赵崇明也害怕把林振邦给熬死。 “我没事儿！”林振邦哈哈一笑：“我还是等中芯国际出招呢！” 赵崇明微微一笑，不疾不徐的开口道：“我们的目标不是当设备商，而是让中国有制造能力。中芯在上海有最成熟的12英寸厂，有工程师，有客户——把机器放在那里，才能最快形成战斗力。” “质疑我，接下来，我要他们开始怀疑人生！” 上海，张江高科技园区。 三天后，中芯国际总部。 全球半导体行业屏息以待。 上午十点，中芯国际官网悄然更新一则公告： 《关于38n艺平台首批晶圆检测结果的说明》 附件视频中，一台银灰色光刻机静静矗立于无尘车间，铭牌清晰可见： “HanDOngLithOgraphy–MOdelHL-38i” 下方一行小字：“国产自主，汉东智造”。 晶圆表面，激光微刻着“SMICHanDOng，2007”的标识，在电子显微镜下熠熠生辉。 检测报告由中国电子技术标准化研究院、国家集成电路质检中心、SGS联合签署： 工艺节点：38.2±1.1n宽均匀性： 98.7%套刻精度： 2.8n优于行业标准）72小时连续试产良率：91.4% 更关键的是——这些芯片已随NOva青春版PrO公开发售。 虽主SOC仍采用高通方案，但电源管理IC、快充控制器、NAND闪存主控等12颗核心配套芯片，全部采用该38n线制造。 包装盒底部新增一行银色小字： “关键芯片国产38n艺，自主可控。” …… …… 美国加州，圣克拉拉，TeChInSightS总部。 深夜十一点，拆解实验室灯火通明。 詹姆斯·米勒——资深首席分析工程师，叼着半截冷掉的咖啡吸管，把NOva青春版PrO的主板扔到工作台上，语气满是讥诮：“又一个“中国奇迹”？” “上帝，我真是服了！”另外一个工程师瑞安无奈的开口道：“我们这么晚了，到底在干什么，省省吧。上回汉芯用砂纸磨摩托罗拉芯片，这次怕不是拿台积电废片重新打标。” 他身旁，华裔工程师林哲，正调试电子束显微镜，闻言嗤笑一声：“我老家在苏州，从小听“国产突破”听到耳朵起茧。结果呢？连个像样的示波器都造不好。38n别逗了，他们能稳定做出130n烧高香了。” “就是！” 瑞安插嘴，“ASMLCEO都说中国人连193n源都没有，光刻机？怕是PPT造的吧！” 林哲沉默了一下。 感觉有些不舒服。 但是，想想也无可厚非。 国内的大环境的确是这样的。 米勒耸耸肩，戴上防静电手套：“行吧，按流程走一遍。反正客户付了加急费，咱们就当看个笑话。” 他熟练地剥离封装，取出那颗标注“PMIC-HD38”的电源管理芯片，放入聚焦离子束设备。 “先切个横截面，看看是不是多重曝光拼的……” 屏幕亮起，纳米级剖面图像缓缓生成。 起初，米勒还漫不经心地敲着桌面。 可三分钟后，他动作僵住了。 “这……这不对……”他凑近屏幕，瞳孔骤缩。 林哲察觉异样，走过来瞥了一眼，笑容瞬间凝固。 屏幕上，多层铜互连结构清晰如画，介电层均匀致密，栅极侧墙轮廓锐利如刀锋——这绝非65n90n艺能伪造的细节。 “液膜边缘效应……” 林哲声音发颤，“这是浸没式光刻独有的特征！水浸界面导致的折射畸变……只有真实曝光才会留下这种痕迹！” 米勒猛地调出线宽测量工具。 38.2n±1.1n “上帝啊……”他喃喃道，“这不是演示片……这是量产良品。良率至少90%以上，否则不可能装进市售手机！” 瑞安也挤过来，脸色煞白：“可……可他们半年前连DUV光刻机都没见过！怎么做到的？！” 林哲死死盯着那行微缩标识——“SMICHanDOng（汉东），2007”，手指不受控制地发抖。 此刻，他喉咙发紧，几乎说不出话：“这真是……中国弄出来的？” 怎么可能？ 之前中国可是从来都没有领先过。 现在忽然间领先了？ 这就意味着，中芯国际直接从“落后台积电两代”的追赶者，变为“全球第四家掌握浸没式光刻量产能力”的厂商，仅次于Intel、台积电、三星。 不，这还不是最可怕的。 最可怕的是背后的华刻集团。 这个华刻集团甚至都不是赵崇明的公司。 这玩意儿，涉及到国家战略安全、地方发展动力与个人创新激励，赵崇明研发38n刻机属于国家意志、省级资源、地方支持与天才个体共同作用的结果。 国家集成电路产业投资基金持股比例百分之四十，控股股东，代表国家战略，拥有一票否决权（涉及技术出口、并购、核心专利转让） 汉东省人民政府通过省投集团持股比例为百分之二十五、第二大股东，保障地方利益，推动“汉东芯谷”建设。 京州市人民政府通过京州科创投持股比例是百分之十，属地支持方，聚焦本地就业与产业升级。 赵崇明个人+技术入股持股比例为百分之二十，首席科学家+CTO，享有技术分红权、新项目优先孵化权。 此外，预留了百分之五，是核心团队持股平台，算是员工期权池。 董事长：由大基金委派（副部级干部） CEO：市场化选聘，现阶段是赵崇明兼任，后期引入职业经理人 CTO：赵崇明终身技术负责人，不可罢免 监事会：中科院、工信部、审计署三方派驻 “任何股东不得单独出售所持股份，技术专利永久归属公司，赵崇明若离职，自动触发“技术冻结”机制——其掌握的下一代光刻方案将由国家接管。”